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當(dāng)前位置：首頁新聞中心適合半導(dǎo)體行業(yè)的0.1μm塵埃粒子計數(shù)器

適合半導(dǎo)體行業(yè)的0.1μm塵埃粒子計數(shù)器

更新時間：2024-09-13點擊次數(shù)：114

 

 




      生產(chǎn)半導(dǎo)體對于廠房潔凈度要求很高，特別是在芯片制造環(huán)節(jié)，環(huán)境的潔凈度直接關(guān)系到產(chǎn)品的良率。實現(xiàn)無污染的半導(dǎo)體制造對于減少缺陷和良率損失以及提高設(shè)備的可靠性是至關(guān)重要的。為了確保潔凈室潔凈度符合相關(guān)要求，需要選擇合適的潔凈室懸浮粒子檢測儀器。

 


 
　　01   選擇粒子計數(shù)器的關(guān)注點
 
　　1. 粒徑尺寸各種尺寸的塵埃顆粒，都會影響到半導(dǎo)體的良率。半導(dǎo)體制造行業(yè)在選擇粒子計數(shù)器時，首先需要考慮的就是合適尺寸的粒徑通道，例如0.1 μm、0.2 μm、0.3 μm、0.5 μm、1.0 μm和5.0 μm。2.靈敏度和準(zhǔn)確性半導(dǎo)體制造潔凈室對塵埃粒子的檢測要求很高，粒子計數(shù)器應(yīng)具有高靈敏度和準(zhǔn)確性。高靈敏度意味著粒子計數(shù)器能夠檢測到極低濃度的顆粒，這對于確保產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)過程的可靠性至關(guān)重要。準(zhǔn)確性則要求計數(shù)器在長時間運行過程中保持穩(wěn)定，避免出現(xiàn)誤報或漏報的情況。3.操作簡便性與維護(hù)對于使用者來說，粒子計數(shù)器操作的簡便性非常重要。易于操作、界面友好的計數(shù)器可以降低操作難度，提高工作效率。另外，維護(hù)的便捷性也是需要重點關(guān)注的，易于清潔和維護(hù)的設(shè)計，可以減少停機時間和維修成本。
 
　　02    眾瑞0.1μm粒子計數(shù)器